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論文・著書情報


タイトル
和文:次世代半導体としての酸化物半導体の信頼性と可能性 
英文: 
著者
和文: 大友 明.  
英文: Akira Ohtomo.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:ポストシリコン半導体―ナノ成膜ダイナミクスと基板・界面効果― 
英文: 
巻, 号, ページ 第2編    第5章第1節    p. 231--239
出版年月 2013年6月11日 
出版者
和文:株式会社 エヌ・ティー・エス 
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会議名称
和文: 
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開催地
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公式リンク http://sv39.bestsystems.net/~dazjr000/item/detail/summary/buturi/20130600_76.html
 

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