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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:(100)-and (110)-oriented nMOSFETs with highly Scaled EOT in La-silicate/Si Interface for Multi-gate Architecture 
著者
和文: 川那子高暢, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 片岡好則, 西山彰, 杉井信之, 筒井一生, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋.  
英文: Takamasa Kawanago, Kuniyuki KAKUSHIMA, パールハットアヘメト, 片岡好則, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KAZUO TSUTSUI, Kenji Natori, takeo hattori, HIROSHI IWAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2012年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:ESSDERC 2012 
開催地
和文: 
英文:Bordeaux 

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