多層化による高アスペクト比電極対を用いたECFマイクロポンプ

論文・著書情報

タイトル

和文:	多層化による高アスペクト比電極対を用いたECFマイクロポンプ
英文:	ECF Micropump by using higher aspect ratio electorodes fabricated by the multi-layer process

著者

和文:	金俊完, 山田嘉穂, 横田眞一, 枝村一弥.
英文:	Joon-wan KIM, Yoshiho Yamada, SHINICHI YOKOTA, Kazuya Edamura.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

pp. 109-111

出版年月

2013年5月29日

出版者

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会議名称

和文:	平成25年春季フルードパワーシステム講演会
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開催地

和文:	東京都
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