A Novel Ohmic Contact Process for n-Ge Substrates

論文・著書情報

タイトル

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英文:	A Novel Ohmic Contact Process for n-Ge Substrates

著者

言語

English

掲載誌/書名

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巻, 号, ページ

出版年月

2013年

出版者

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会議名称

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英文:	R. Yoshihara, Y. Tamura, K. Kakushima, P. Ahmet, Y. Kataoka, A. Nishiyama, N. Sugii, K. Tsutsui, K. Natori, T. Hattori, H. Iwai, “A Novel Ohmic Contact Process for n-Ge Substrates”, Workshop and IEEE EDS Mini-colloquium on Nanometer CMOS Technology (WIMNACT 37)

開催地

和文:
英文:	Tokyo