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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Atomically flat Ni-silicide/Si interface using NiSi2 sputtering 
著者
和文: 宋 禛漢, 小山将央, 松本一輝, 角嶋邦之, 中塚理, 大毛利健治, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 山田啓作, 岩井洋.  
英文: 宋 禛漢, 小山将央, Kazuki Matsumoto, Kuniyuki KAKUSHIMA, 中塚理, 大毛利健治, KAZUO TSUTSUI, Akira Nishiyama, Nobuyuki Sugii, Keisaku Yamada, HIROSHI IWAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2013年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:Workshop and IEEE EDS Mini-colloquium on Nanometer CMOS Technology (WIMNACT 37) 
開催地
和文: 
英文:Tokyo 

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