Electrostatic chuck consisting of polymeric electrostatic inductive fibersfor handling of objects with rough surfaces

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electrostatic chuck consisting of polymeric electrostatic inductive fibersfor handling of objects with rough surfaces

著者

和文:	RADON DHELIKA, 澤井賢司, 高橋邦夫, 宝田亘, 鞠谷雄士, 齋藤滋規.
英文:	Radon Dhelika, Kenji Sawai, Kunio Takahashi, Wataru Takarada, Takeshi Kikutani, Shigeki Saito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Smart Materials and Structures

巻, 号, ページ

No. 22 pp. 9

出版年月

2013年8月6日

出版者

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会議名称

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開催地

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