同位体メタン系ガスを用いたアモルファス炭素膜の作製

論文・著書情報

タイトル

和文:	同位体メタン系ガスを用いたアモルファス炭素膜の作製
英文:	Deposition of amorphous carbon films using isotopic methane gases

著者

和文:	鈴木裕太郎, 鈴木常生, 大竹尚登, 赤坂大樹.
英文:	Yutaro Suzuki, Tsuneo Suzuki, Naoto Ohtake, Hiroki Akasaka.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2013年度精密工学会春季大会学術講演会講演要旨集
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2013年3月13日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	2013年度精密工学会春季大会学術講演会
英文:

開催地

和文:	東京
英文: