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論文・著書情報


タイトル
和文:マイクロ圧縮試験を用いた銅めっき膜の力学的特性評価 
英文: 
著者
和文: 名越貴志, 木梨光, 武藤雅英, Tso-Fu Mark Chang, 里達雄, 曽根正人.  
英文: Takashi Nagoshi, Hikaru Kinashi, Masahide Mutoh, Mark Chang, 里達雄, Masato Sone.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本銅学会第53回講演大会 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2013年11月16日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:日本銅学会第53回講演大会 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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