高周波交流圧力源を用いた多自由度マイクロアクチュエータシステム

論文・著書情報

タイトル

和文:	高周波交流圧力源を用いた多自由度マイクロアクチュエータシステム
英文:	A Multi-DOF Microactuator System Using High Frequency Alternating Pressure Source

著者

和文:	吉田和弘, 山本悟史, 嚴祥仁, 横田眞一.
英文:	KAZUHIRO YOSHIDA, Satoshi Yamamoto, Sang In EOM, SHINICHI YOKOTA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	山梨講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

No. 130-3 pp. 28-29

出版年月

2013年10月26日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	山梨講演会
英文:	Yamanashi District Conference

開催地

和文:	山梨県
英文: