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論文・著書情報


タイトル
和文:フラーレンからの硬質アモルファスカーボン高速成膜技術 
英文: 
著者
和文: 平田敦.  
英文: ATSUSHI HIRATA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:コンバーテック 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 41    No. 3    pp. 76-79
出版年月 2013年3月15日 
出版者
和文:株式会社 加工技術研究会 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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