Effects of Bipolar Pulse Poling on the Ferroelectric and Piezoelectric Properties of Tetragonal Composition Pb(Zr0:3,Ti0:7)O3 Thin Films on Microelectromechanical Systems Microcantilevers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of Bipolar Pulse Poling on the Ferroelectric and Piezoelectric Properties of Tetragonal Composition Pb(Zr0:3,Ti0:7)O3 Thin Films on Microelectromechanical Systems Microcantilevers

著者

和文:	Takeshi Kobayashi, Natsumi Makimoto, Yasuhiro Suzuki, 舟窪浩, 及川貴弘, Auyumi Wada, Ryutaro Maeda.
英文:	Takeshi Kobayashi, Natsumi Makimoto, Yasuhiro Suzuki, Hiroshi Funakubo, Takahiro Oikawa, Auyumi Wada, Ryutaro Maeda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl.pPhys.

巻, 号, ページ

Vol. 52 pp. 09KA01-1-6

出版年月

2013年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: