In-Situ Monitoring of Silicon Nanocrystal Deposition with Pulsed SiH<sub>4</sub> Supply by Optical Emission Spectroscopy of Ar Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	In-Situ Monitoring of Silicon Nanocrystal Deposition with Pulsed SiH₄ Supply by Optical Emission Spectroscopy of Ar Plasma

著者

和文:	池本和史, 中峯嘉文, 河野行雄, 小田俊理.
英文:	K.Ikemoto, Y.Nakamine, Y.Kawano, S.Oda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2013年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Solid State Devices and Materials Conference

開催地

和文:
英文:	Fukuoka