An arrayed accelerometer device of a wide range of detection for integrated CMOS-MEMS technology

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	An arrayed accelerometer device of a wide range of detection for integrated CMOS-MEMS technology

著者

和文:	小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 益一哉, 町田克之, 年吉洋.
英文:	Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 53 pp. 27202

出版年月

2014年1月21日

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI