大規模積層型静電アクチュエータの開発 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	大規模積層型静電アクチュエータの開発
英文:	Development of a Large-scale Stacked-type Electrostatic Actuator

著者

和文:	伊藤誠.
英文:	Makoto Ito.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:	Japan

言語

English

学位授与組織

Tokyo Institute of Technology

報告番号

甲第9376号

学位授与日

2014/03/26

審査員

ファイル

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