Study on Impurity Effect in Inverted Aluminum-Induced Layer Exchange Process for Polycrystalline Silicon Thin Films

論文・著書情報

タイトル

和文:	逆層交換型アルミニウム誘起シリコン結晶化プロセスにおける不純物効果の研究
英文:	Study on Impurity Effect in Inverted Aluminum-Induced Layer Exchange Process for Polycrystalline Silicon Thin Films

著者

和文:	竹内正芳.
英文:	Masayoshi Takeuchi.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:	Japan

言語

English

学位授与組織

Tokyo Institute of Technology

報告番号

甲第9490号

学位授与日

2014/03/26

審査員

Michio Kondo, Osamu Odawara, Mamoru Yoshimoto, Junichi Hanna, Hiroyuki Wada.

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