近接効果補正露光による量子細線構造のサイズ揺らぎの低減

論文・著書情報

タイトル

和文:	近接効果補正露光による量子細線構造のサイズ揺らぎの低減
英文:	Reduction of the Size Fluctuation of Quantum-Wire Structures Fabricated by Proximity Effect Correction

著者

和文:	賈学英, 小島隆, 早船嘉典, 田村茂雄, 渡辺正裕, 荒井滋久.
英文:	X. Y. Jia, T. Kojima, Y. Hayafune, S. Tamura, M. Watanabe, S. Arai.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

29a-X-4 2 586

出版年月

1997年3月29日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第44回応用物理学会関係連合講演会
英文:	Nat. Conv. Rec. of The Japan Soc. of Appl. Phys.

開催地

和文:	千葉県
英文:	Chiba