CaF<sub>2</sub>/Si(111)薄膜中に形成されたSi微結晶からのPL発光スペクトルのRTA雰囲気依存性

論文・著書情報

タイトル

和文:	CaF₂/Si(111)薄膜中に形成されたSi微結晶からのPL発光スペクトルのRTA雰囲気依存性
英文:	RTA ambient dependence of PL spectra from nano-crystalline Si embedded in CaF₂/Si(111) thin film

著者

和文:	丸山武男, 中村尚人, 渡辺正裕.
英文:	T. Maruyama, N. Nakamura, M. Watanabe.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

16a-ZE-8 2 795

出版年月

1998年9月16日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第59回応用物理学会学術講演会
英文:	The 59th Autumn Meeting of The Jpn. Soc. Of Appl. Phys

開催地

和文:	広島県
英文:	Hiroshima