CaF<sub>2</sub>/Si基板上ZnO薄膜の酸素雰囲気中アニール

論文・著書情報

タイトル

和文:	CaF₂/Si基板上ZnO薄膜の酸素雰囲気中アニール
英文:	Oxygen ambient annealing of ZnO thin films on CaF₂/Si substrate

著者

和文:	鈴木充典, 岡野俊一, 渡辺正裕.
英文:	M. Suzuki, S. Okano, M. Watanabe.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

31a-YL-2 3 1438

出版年月

2001年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第48回応用物理学会関係連合講演会
英文:	The 48th Spring Meeting of The Jpn. Soc. Of Appl. Phys. And Related Societies

開催地

和文:	東京都
英文:	Tokyo