CaF<sub>2</sub>/Si(111)基板上ZnO薄膜のN.Gaコドーピング法による不純物制御

論文・著書情報

タイトル

和文:	CaF₂/Si(111)基板上ZnO薄膜のN.Gaコドーピング法による不純物制御
英文:	Inpurity control of eptaxial ZnO thin films grown on CaF₂/Si(111) by N, Ga codoping

著者

和文:	岡野俊一, 鈴木充典, 渡辺正裕.
英文:	S. Okano, M. Suzuki, M. Watanabe.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

31a-YL-3 3 1438

出版年月

2001年3月31日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第48回応用物理学会関係連合講演会
英文:	The 48th Spring Meeting of The Jpn. Soc. Of Appl. Phys. And Related Societies

開催地

和文:	東京都
英文:	Tokyo