低気圧酸素プラズマの励起状態密度分布に対する電子エネルギー分布関数の重要性

論文・著書情報

タイトル

和文:	低気圧酸素プラズマの励起状態密度分布に対する電子エネルギー分布関数の重要性
英文:	Essentiality of EEDF on the Excitation Kinetics of Low-Pressure Discharge Oxygen Plasma

著者

和文:	今野潤哉, 根津篤, 松浦治明, 赤塚洋.
英文:	J. Konno, A. Nezu, H. Matsuura, H. Akatsuka.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本物理学会講演概要集
英文:	Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan

巻, 号, ページ

Vol. 69 No. 1 p. 282

出版年月

2014年3月5日

出版者

和文:	一般社団法人日本物理学会
英文:	The Physical Society of Japan

会議名称

和文:	日本物理学会第６９回年次大会
英文:	69th Annual Meeting of the Physical Society of Japan

開催地

和文:	平塚
英文:	Hiratsuka