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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
Cu Wiring into Nano-Scale Holes by Electrodeposition in Supercritical Carbon Dioxide Emulsified Electrolyte with a Continuous Flow Reaction System
著者
和文:
清水哲也
,
石本 悠真
,
TSO-FU MARK CHANG
,
木梨 光
,
名越 貴志
,
里 達雄
,
曽根 正人
.
英文:
Tetsuya Shimizu
,
Yuma Ishimoto
,
Tso-Fu Mark Chang
,
Hikaru Kinashi
,
Takashi Nagoshi
,
Tatsuo Sato
,
Masato Sone
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
The Journal of Supercritical Fluids
巻, 号, ページ
Vol. 60 pp. 60-64
出版年月
2014年5月30日
出版者
和文:
英文:
Elsevier
会議名称
和文:
英文:
開催地
和文:
英文:
DOI
https://doi.org/10.1016/j.supflu.2014.03.010
©2007
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