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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Applications of Incandescent Zirconia Atomic Oxygen Source to Vacuum Processes 
著者
和文: 尾島 大樹, 金 秀榮, 林 克郎.  
英文: Daiki Ojima, Suyeong Kim, Katsuro Hayashi.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2013年6月4日 
出版者
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会議名称
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英文:International Conference on Solid State Ionics 19 
開催地
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英文: 

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