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論文・著書情報


タイトル
和文:積層型圧電素子を用いたスティックスリップ駆動による小型半球ステージの駆動特性評価 
英文: 
著者
和文: 滝澤将人, 入江優花, 平田慎之介, 青山尚之.  
英文: Masato Takizawa, Yuuka Irie, Shinnosuke Hirata, Hisayuki Aoyama.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:学術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 849-850
出版年月 2010年9月27日 
出版者
和文:精密工学会 
英文: 
会議名称
和文:2010年度精密工学会秋季大会 
英文: 
開催地
和文:名古屋 
英文: 

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