セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ—第10報S-DLC膜を用いた形状制御の評価—

論文・著書情報

タイトル

和文:	セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ—第10報S-DLC膜を用いた形状制御の評価—
英文:

著者

和文:	中谷公祐, 高崎正也, 寶田敦之, 吉田祐未, 大竹尚登, 水野毅.
英文:	中谷公祐, Masaya Takasaki, Atsuyuki Takarada, Yumi Yoshida, NAOTO OHTAKE, 水野毅.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2014年精密工学会春季大会プログラム＆アブストラクト集
英文:

巻, 号, ページ

CD-ROM

出版年月

2014年3月18日

出版者

和文:	公益社団法人精密工学会
英文:

会議名称

和文:	2014年精密工学会春季大会
英文:

開催地

和文:	東京
英文: