A Dual-Axis MEMS Inertial Sensor Using Multi-Layered High-density Metal for an Arrayed CMOS-MEMS Accelerometer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Dual-Axis MEMS Inertial Sensor Using Multi-Layered High-density Metal for an Arrayed CMOS-MEMS Accelerometer

著者

和文:	山根大輔, 松島隆明, 小西敏文, 年吉洋, 町田克之, 益一哉.
英文:	Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 69-72

出版年月

2014年4月1日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP2014)

開催地

和文:
英文:	Cannes, Cote d'Azur

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