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論文・著書情報


タイトル
和文:オゾン酸化によるシリコンナノワイヤの細線化 
英文: 
著者
和文: 石田 瑛一, 山田 康晴, 加藤 慎也, 黒川 康良, 山田 明.  
英文: Eiichi Ishida, Yasuharu Yamada, Shinya Kato, Yasuyoshi Kurokawa, AKIRA YAMADA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         18p-E12-8
出版年月 2014年3月18日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第61回応用物理学会春季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:神奈川 
英文: 

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