Al/CaF<sub>2</sub>/Si MIS 構造のトンネル電流評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	Al/CaF₂/Si MIS 構造のトンネル電流評価
英文:	Tunneling current measurement of Al/CaF₂/Si MIS structures

著者

和文:	須田慶太, 傳田純也, 桑田友哉, 越田悠太, 渡辺正裕.
英文:	K. Suda, J. Denda, Y. Kuwata, Y. Koshita, M. Watanabe.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

18p-PG2-2 14-069

出版年月

2014年3月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第61回応用物理学会春季学術講演会
英文:	The 61st The Japan Society of Applied Physics Spring Meeting

開催地

和文:	神奈川
英文:	Sagamihara, Kanagawa