A Tri-Axis MEMS Capacitive Sensor Using Multi-Layered High-density Metal for an Integrated CMOS-MEMS Accelerometer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Tri-Axis MEMS Capacitive Sensor Using Multi-Layered High-density Metal for an Integrated CMOS-MEMS Accelerometer

著者

和文:	山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 年吉洋, 町田克之, 益一哉.
英文:	Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 113-116

出版年月

2014年5月20日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2014 IEEE International Interconnect Technology Conference/Advanced Metallization Conference (IITC/AMC 2014)

開催地

和文:
英文:	San Jose, CA

公式リンク