MEMS技術を用いた電極分割形フレキシブルERマイクロバルブの開発

論文・著書情報

タイトル

和文:	MEMS技術を用いた電極分割形フレキシブルERマイクロバルブの開発
英文:	Development of a Divided Electrode Type Flexible ER Microvalve Using MEMS Technologies

著者

和文:	吉田和弘, 塚本昇, 金俊完, 嚴祥仁, 横田眞一.
英文:	KAZUHIRO YOSHIDA, Noboru Tsukamoto, Joon-wan KIM, Sang In EOM, SHINICHI YOKOTA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	平成26年春季フルードパワーシステム講演会講演論文集
英文:	The proceedings on Spring Conference of Japan Fluid Power System Society 2014

巻, 号, ページ

pp. 82-84

出版年月

2014年5月29日

出版者

和文:	一般社団法人日本フルードパワーシステム学会
英文:

会議名称

和文:	平成26年春季フルードパワーシステム講演会
英文:	Spring Conference of Japan Fluid Power System Society 2014

開催地

和文:	東京都
英文:

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