Semi-insulation behavior in conducting β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> single crytal surfaces by thermal oxidation

論文・著書情報

タイトル

和文:	熱酸化による導電性 β-Ga₂O₃単結晶表面の半絶縁層形成
英文:	Semi-insulation behavior in conducting β-Ga₂O₃ single crytal surfaces by thermal oxidation

著者

和文:	大島孝仁, 神永健一, 向井章, 佐々木公平, 増井建和, 倉又朗人, 山腰茂伸, 藤田静雄, 大友明.
英文:	T. Oshima, K. Kaminaga, A. Mukai, K. Sasaki, T. Masui, A. Kuramata, S. Yamakoshi, S. Fujita, A. Ohtomo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2013年7月11日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第32回電子材料シンポジウム
英文:	32nd Electronic materials Symposium

開催地

和文:	滋賀県守山市
英文:	Moriyama, Shiga

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