High Temperature Reproducible Preparation of Mg2Si Films on (001)Al2O3 substrates Using RF Magnetron Sputtering Method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High Temperature Reproducible Preparation of Mg2Si Films on (001)Al2O3 substrates Using RF Magnetron Sputtering Method

著者

和文:	片桐淳生, 小川正太, 清水荘雄, 松島正明, 秋山賢輔, 舟窪浩.
英文:	Atsuo Katagiri, Shota Ogawa, Takao Shimizu, Masaaki Matsushima, Kensuke Akiyama, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Mater. Res. Soc. Symp. Proc

巻, 号, ページ

Vol. 1642

出版年月

2014年

出版者

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会議名称

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開催地

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