A Sub-1G Capacitive Sensor for Integrated CMOS-MEMS Accelerometers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Sub-1G Capacitive Sensor for Integrated CMOS-MEMS Accelerometers

著者

和文:	Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.
英文:	Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. P2-55

出版年月

2014年6月29日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	7th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT2014)

開催地

和文:
英文:	Daegu

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