集積化CMOS-MEMS加速度センサへ向けたsub-1Gセンサ

論文・著書情報

タイトル

和文:	集積化CMOS-MEMS加速度センサへ向けたsub-1Gセンサ
英文:

著者

和文:	山根大輔, 亀井将太, 小西敏文, 松島隆明, 年吉洋, 益一哉, 町田克之.
英文:	Daisuke Yamane, Shota Kamei, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. P4

出版年月

2014年7月11日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	応用物理学会集積化ＭＥＭＳ技術研究会第５回集積化ＭＥＭＳ技術研究ワークショップ
英文:

開催地

和文:	愛知県豊橋市
英文:

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