マルチフィジックスシミュレータを用いたCMOS-MEMS加速度センサの検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	マルチフィジックスシミュレータを用いたCMOS-MEMS加速度センサの検討
英文:

著者

和文:	小西敏文, 山根大輔, 松島隆明, 益一哉, 年吉洋, 町田克之.
英文:	Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Takaaki Matsushima, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. P7

出版年月

2014年7月11日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	応用物理学会集積化ＭＥＭＳ技術研究会第５回集積化ＭＥＭＳ技術研究ワークショップ
英文:

開催地

和文:	愛知県豊橋市
英文:

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