Multi-Physics Equivalent Circuit Model for MEMS Sensors and Actuators

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Multi-Physics Equivalent Circuit Model for MEMS Sensors and Actuators

著者

和文:	小西敏文, 町田克之, 益一哉, 年吉洋.
英文:	Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	ECS Transactions

巻, 号, ページ

volume 50 no. 14 pp. 55-61

出版年月

2012年10月7日

出版者

和文:
英文:	The Electrochemical Society

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI