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論文・著書情報
タイトル
和文:
先端放電型プラズマCVDを用いたb-SiC上へのダイヤモンドヘテロエピタキシャル成長
英文:
著者
和文:
矢板 潤也
,
岩崎 孝之
, S.E.Saddow,
波多野 睦子
.
英文:
Junya Yaita
,
Takayuki Iwasaki
, S.E.Saddow,
Mutsuko Hatano
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
出版年月
2014年3月18日
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
第61回応用物理学会春季学術講演会
英文:
開催地
和文:
神奈川
英文:
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