Siウェハ表面における有機ガスの吸着機構

論文・著書情報

タイトル

和文:	Siウェハ表面における有機ガスの吸着機構
英文:	Adsorption Mechanismsof Organic Compounds on Si Wafer Surfaces

著者

和文:	鍵直樹, 藤井修二, 湯浅和博, 藪本周邦, 田中克昌.
英文:	Naoki Kagi, Shuji Fujii, Kazuhiro YUASA, 藪本周邦, KATSUMASA TANAKA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	エアロゾル研究
英文:	Aerosol Research

巻, 号, ページ

Vol. 13 No. 2 pp. 142-148

出版年月

1998年6月

出版者

和文:	日本エアロゾル学会
英文:	Japan Association of Aerosol Science and Technology

会議名称

和文:
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開催地

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