クリーンルーム中の有機物質のウェハ表面吸着機構

論文・著書情報

タイトル

和文:	クリーンルーム中の有機物質のウェハ表面吸着機構
英文:	Adsorption Mechanisms of Organic Compounds on Si Wafer Surfaces in Cleanroom Air

著者

和文:	鍵直樹, 藤井修二, 湯浅和博.
英文:	Naoki Kagi, 藤井修二, 湯浅和博.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本建築学会計画系論文集
英文:	Journal of Archit. Plann. Environ. Eng.

巻, 号, ページ

Vol. 516 No. 516 pp. 47-51

出版年月

1999年

出版者

和文:	社団法人日本建築学会
英文:	ARCHITECTURAL INSTITUTE OF JAPAN

会議名称

和文:
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開催地

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DOI