有機物質のシリコンウェハ表面の吸着特性と水分の影響 クリーンルーム内のガス状有機物質に関する研究

論文・著書情報

タイトル

和文:	有機物質のシリコンウェハ表面の吸着特性と水分の影響クリーンルーム内のガス状有機物質に関する研究
英文:	Role of Moisture for Adsorption Mechanisms of Oganic Compounds on Si Wafer Surfaces Gaseous Organic Compounds in Cleanroom Air

著者

和文:	鍵直樹, 藤井修二, 湯浅和博, 田中克昌.
英文:	Naoki Kagi, Shuji Fujii, Kazuhiro YUASA, KATSUMASA TANAKA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本建築学会計画系論文集
英文:	Journal of Archit. Plann. Environ. Eng.

巻, 号, ページ

Vol. No.517 No. 517 pp. 53-57

出版年月

1999年3月

出版者

和文:	社団法人日本建築学会
英文:	ARCHITECTURAL INSTITUTE OF JAPAN

会議名称

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開催地

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DOI