ガス状物質のクリーンルーム空気中からシリコンウェハ表面への吸着に関する理論的考察

論文・著書情報

タイトル

和文:	ガス状物質のクリーンルーム空気中からシリコンウェハ表面への吸着に関する理論的考察
英文:	Theoretical Study on Adsorption Mechanisms of Gaseous Matter from Cleanroom Air onto Silicon Wafer Surface

著者

和文:	鍵直樹, 藤井修二.
英文:	Naoki Kagi, 藤井修二.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本建築学会計画系論文集
英文:	Journal of Archit. Plann. Environ. Eng.

巻, 号, ページ

Vol. 530 No. 530 pp. 67-71

出版年月

2000年

出版者

和文:	社団法人日本建築学会
英文:	ARCHITECTURAL INSTITUTE OF JAPAN

会議名称

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開催地

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DOI