LELEダブルパターニングのための歩留まりを考慮した高速マスク割り当て手法

論文・著書情報

タイトル

和文:	LELEダブルパターニングのための歩留まりを考慮した高速マスク割り当て手法
英文:	Fast Mask Assignment Method Considering Yield for LELE Double Patterning

著者

和文:	小平行秀, 横山陽子, 児玉親亮, 高橋篤司, 野嶋茂樹, 田中聡.
英文:	Yukihide Kohira, Yoko Yokoyama, Chikaaki Kodama, Atsushi Takahashi, Shigeki Nojima, Satoshi Tanaka.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	次世代リソグラフィワークショップ予稿集 (NGL2014)
英文:	Collection of Abstracts, NGL 2014

巻, 号, ページ

pp. 41-42

出版年月

2014年7月17日

出版者

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会議名称

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開催地

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