Study on the effect of heat treatment conditions on metalorganic-chemical-vapor-deposited ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 thin film on Ir electrode

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Study on the effect of heat treatment conditions on metalorganic-chemical-vapor-deposited ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 thin film on Ir electrode

著者

和文:	清水荘雄, 横内達彦, 白石貴久, 及川貴弘, P. S. Sankara Rama Krishnan, 舟窪浩.
英文:	Takao Shimizu, Tatsuhiko Yokouchi, Takahisa Shiraish, Takahiro Oikawa, P. S. Sankara Rama Krishnan, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 53 pp. 09PA04-1-6

出版年月

2014年

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: