Cl2-誘導結合型プラズマエッチングにおけるヤヌス型トリプチセンTripC12のエッチング特性の評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	Cl2-誘導結合型プラズマエッチングにおけるヤヌス型トリプチセンTripC12のエッチング特性の評価
英文:	Etching characterization of Janus-type Triptycene (TripC12) in Cl2 based inductively coupled plasma etching process

著者

和文:	松谷晃宏, 石割文崇, 庄子良晃, 上原卓也, 中川勝, 福島孝典.
英文:	Akihiro matsutani, Fumitaka Ishiwari, Yoshiaki Shoji, Takuya Uehara, Masaru Nakagawa, Takanori Fukushima.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2014年9月1日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 75th JSAP Autumn Meeting 2014

開催地

和文:	札幌
英文:	Sapporo