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論文・著書情報


タイトル
和文:MEMS技術を用いた集積化によるECFマイクロポンプの高圧化 
英文:Integrated High Pressure ECF Micro Pump using MEMS technology 
著者
和文: 古木星哉, 金俊完, 横田眞一, 枝村一弥.  
英文: Seiya Furuki, Joon-wan KIM, SHINICHI YOKOTA, Kazuya Edamura.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:山梨講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 140-3    pp. 17-18
出版年月 2014年10月15日 
出版者
和文:一般社団法人 日本機械学会関東支部 
英文: 
会議名称
和文:山梨講演会2014 
英文: 
開催地
和文:山梨県 
英文: 
公式リンク http://society.ms.yamanashi.ac.jp/jsme/2014/
 

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