Direct nano-imprinting on Au coating layer by a polymer film mold for the templated thermal dewetting method

論文・著書情報

タイトル

和文:	Direct nano-imprinting on Au coating layer by a polymer film mold for the templated thermal dewetting method
英文:	Direct nano-imprinting on Au coating layer by a polymer film mold for the templated thermal dewetting method

著者

和文:	PotejanaPotejanasak, 吉野雅彦, 寺野元規, 三田正弘.
英文:	Potejanasak Potejana, MASAHIKO YOSHINO, Motoki Terano, 三田正弘.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会第6回マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2014年10月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	日本機械学会第6回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
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開催地

和文:	島根県松江市
英文: