A Fast Process Variation and Pattern Fidelity Aware Mask Optimization Algorithm

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Fast Process Variation and Pattern Fidelity Aware Mask Optimization Algorithm

著者

和文:	AWAD Ahmed, 高橋篤司, Satoshi Tanaka, Chikaaki Kodama.
英文:	Ahmed Awad, Atsushi Takahashi, Satoshi Tanaka, Chikaaki Kodama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. IEEE/ACM 2014 International Conference on Computer-Aided Design (ICCAD 2014)

巻, 号, ページ

pp. 238-245

出版年月

2014年11月3日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	San Jose

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DOI