Surface modification of silicon carbide films by silicon elimination process

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Surface modification of silicon carbide films by silicon elimination process

著者

和文:	安藤翔太郎, 西尾龍哉, 青野祐子, 平田敦.
英文:	Shoutarou Andou, Tatsuya Nishio, Yuko Aono, ATSUSHI HIRATA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of 5th BIT-TIT Workshop on Mechanical Engineering

巻, 号, ページ

pp. 215-220

出版年月

2014年8月31日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	5th BIT-TIT Workshop on Mechanical Engineering

開催地

和文:
英文:

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