Design of process diagnostics for excimer laser irradiation of oxide thin films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Design of process diagnostics for excimer laser irradiation of oxide thin films

著者

和文:	K. Shinoda, T.Nakajima, 波多野睦子, T. Tsuchiya.
英文:	K. Shinoda, T.Nakajima, M. Hatano, T. Tsuchiya.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 53 pp. 05FB08-1～05FB08-6

出版年月

2014年4月7日

出版者

和文:
英文:

会議名称

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英文:

開催地

和文:
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DOI