Stability of Movable Structure Formed by Au Electroplating for MEMS Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Stability of Movable Structure Formed by Au Electroplating for MEMS Devices

著者

和文:	寺西美波, TSO-FU MARK CHANG, 小西敏文, 町田克之, 山根大輔, 伊藤浩之, 益一哉, 里達雄, 曽根正人, 曽根正人.
英文:	Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Toshifumi Konishi, Masaki Yano, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Tatsuo Sato, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	ICMAT2015 & IUMRS-ICA2015,

巻, 号, ページ

出版年月

2015年6月28日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	ICMAT2015 & IUMRS-ICA2015,

開催地

和文:
英文:	Singapore