水平駆動型MEMS導波路の静電駆動時における高周波特性の評価手法

論文・著書情報

タイトル

和文:	水平駆動型MEMS導波路の静電駆動時における高周波特性の評価手法
英文:

著者

和文:	山根大輔, サンウィンストン, 川崎繁男, 藤田博之, 年吉洋.
英文:	Daisuke Yamane, Winston Sun, Shigeo Kawasaki, Hiroyuki Fujita, Hiroshi Toshiyoshi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電子情報通信学会論文誌C(エレクトロニクスソサエティ)
英文:

巻, 号, ページ

Vol. J97-C No. 1 pp. 37-45

出版年月

2014年1月

出版者

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会議名称

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開催地

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